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曾修暘

1. 職稱:副教授(兼機械系所副主任)
  
Title: Associate Professor(ME Dept. Vice-Chair)

2. 學歷:加拿大西門菲莎大學博士、美國華盛頓大學學士
  
Education: PhD - Simon Fraser University, BS - University of Washington

3. 專長:機械工程、熱流技術、精微製造、生醫工程
  
Expertise: Mechanical Engineering, Thermal/Fluids, Semiconductor Manufacturing, Biomedical Engineering

4. 研究領域:半導體製程與微機電、沸騰熱傳與相變化、低溫保存技術、微奈流體與生物晶片、疾病檢測與穿戴式裝置
  
Research Interests: Micro-electro-mechanical Systems, Boiling Heat Transfer, Cryopreservation & Bio-banking, Micro/Nanofluidics & Lab-on-a-chip

5. 研究項目

1. 半導體製程技術

[邊界層奈米流體分析][側向蝕刻][直寫式微影技術][晶圓清洗][磊晶生成][奈米製程與應用]

2. 兩相冷卻與散熱加強

[浸沒式冷卻][冷板散熱][玻璃化高速焠火降溫][極低溫沸騰熱傳][3D多孔纖維流體][3D微流體製程][微型液珠與兩相流體][淨零碳排電解製氫]

3. 先進醫材檢測裝置

[循環腫瘤細胞捕捉][微型螢光流式细胞儀][高頻介電泳微粒操控][藥物穿透分析][水凝膠低溫保存][印刷電路板與生物檢測][酵素免疫吸附分析][聚合酶連鎖反應器][吸氣][穿戴式防護裝備]

6. 技能訓練

光罩設計、晶圓清洗、物理氣相沉積、光阻塗佈、微影曝光、蝕刻、氧電漿接合、微銑削、3D列印、PID控制、機電整合、顯微成像、細胞培養、可視化與影像處理、DAQ數據擷取/處理、有限元分析模擬…

7. 任教課程:微製程實習、微奈米系統、流體力學、熱傳學、生醫工程技術、工程經濟學

8. 實驗室:熱流微機電實驗室 ME1-261886-2-2733-3141 ext. 7692

9. 研究室E1-458886-2-2737-6491

10. 電子郵箱htseng@mail.ntust.edu.tw

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