曾修暘
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1. 職稱:副教授(兼機械系所副主任) 2. 學歷:加拿大西門菲莎大學博士、美國華盛頓大學學士 3. 專長:機械工程、熱流技術、精微製造、生醫工程 4. 研究領域:半導體製程與微機電、沸騰熱傳與相變化、低溫保存技術、微奈流體與生物晶片、疾病檢測與穿戴式裝置 5. 研究項目: 1. 半導體製程技術: [邊界層奈米流體分析]、[側向蝕刻]、[直寫式微影技術]、[晶圓清洗]、[磊晶生成]、[奈米製程與應用] 2. 兩相冷卻與散熱加強: [浸沒式冷卻]、[冷板散熱]、[玻璃化高速焠火降溫]、[極低溫沸騰熱傳]、[3D多孔纖維流體]、[3D微流體製程]、[微型液珠與兩相流體]、[淨零碳排電解製氫] 3. 先進醫材檢測裝置: [循環腫瘤細胞捕捉]、[微型螢光流式细胞儀]、[高頻介電泳微粒操控]、[藥物穿透分析]、[水凝膠低溫保存]、[印刷電路板與生物檢測]、[酵素免疫吸附分析]、[聚合酶連鎖反應器]、[吸氣]、[穿戴式防護裝備] 6. 技能訓練: 光罩設計、晶圓清洗、物理氣相沉積、光阻塗佈、微影曝光、蝕刻、氧電漿接合、微銑削、3D列印、PID控制、機電整合、顯微成像、細胞培養、可視化與影像處理、DAQ數據擷取/處理、有限元分析模擬… 7. 任教課程:微製程實習、微奈米系統、流體力學、熱傳學、生醫工程技術、工程經濟學 8. 實驗室:熱流微機電實驗室 ME1-261;886-2-2733-3141 ext. 7692 9. 研究室:E1-458;886-2-2737-6491 10. 電子郵箱:htseng@mail.ntust.edu.tw |